TMAH

TMAH

TMAH是一種化學物質,是四甲基氫氧化銨的縮寫。TMAH的物理性質是無色結晶(常含三、五等結晶水),極易吸潮,有一定的氨氣味,具有強鹼性,在空氣中能迅速吸收二氧化碳,形成碳酸鹽為有機強鹼,具有較強的腐蝕性。

簡介

名稱:

中文名稱:四甲基氫氧化銨

英文名稱:Tetramethylammonium Hydroxide

理化性質

分子式:(CH3)4NOH;

分子量:91

沸點:100℃

固體帶5個結晶水,無色透明,有很強的吸水性;

易溶於水,溶解時放熱,水溶液呈強鹼性,有滑膩感;

穩定性:高溫分解

禁配物:強酸、氧化劑及銨鹽。用來試驗的產品會慢慢地侵蝕鋁及其它一些非鐵性金屬(例如錫、銅、鋅等),並放氫氣;

危險性概述

危險性類別:第8.2 類鹼性腐蝕品;

侵入途徑:吸入、食入、經皮吸收;

健康危害:本品具有刺激性和腐蝕性。直接接觸可引起皮膚和眼灼傷。生產中吸入其煙霧可引起呼吸道刺激和結膜炎,還可有鼻黏膜潰瘍、萎縮及鼻中隔穿孔。長時間接觸本品溶液可發生濕疹、皮炎、雞眼狀潰瘍和皮膚鬆弛。接觸本品的作業工人呼吸器官疾病發病率升高。誤服可造成消化道灼傷、黏膜糜爛、出血和休克。

環境危害:對環境有危害,對水體可造成污染。

燃爆危險:本品不燃,具腐蝕性、刺激性,可致人體灼傷。

急救措施

皮膚接觸:濃度更高時可能嚴重傷害肺部。應穿著C級防護裝備在安全區實施急救。立即脫去污染的衣著,用大量流動清水沖洗至少15分鐘。就醫;

眼睛接觸:立即提起眼瞼,用大量流動清水或生理鹽水徹底沖洗至少15分鐘。就醫;

攝取:若受害者心智清醒,沒有引起嘔吐時,給 2-4杯的牛奶或水。若受害者暈迷不醒,不要通過口給任何東西。立即採取醫學治療;

吸入:立即採用醫學治療。立即把受害者從暴露的地方移置到新鮮空氣的地方。如果呼吸困難,採取人工給氧。千萬不要採用口對口的給氧方式。如果呼吸停止了,通過使用氧氣或合適的醫用裝置(面具,袋子),採用人工呼吸急救法。醫生特別注意此項;

消防措施

適用的滅火劑:二氧化碳,乾燥的化學品或水

特殊危害:可能產生三甲胺、甲醇。當加熱時產生NOx或CO,這些氣體具有一定的腐蝕性、爆炸性和毒性。

滅火方法:消防人員必須穿全身耐酸鹼消防服。滅火時儘可能將容器從火場移至空曠處,本品不燃。消防人員必須佩戴過濾式防毒面具(全面罩)或隔離式呼吸器、穿全身防火防毒服,在上風向滅火。儘可能將容器從火場移至空曠處。噴水保持火場容器冷卻,直至滅火結束。滅火時儘量切斷泄漏源,然後根據著火原因選擇適當滅火劑滅火。

泄漏應急處理

個人注意事項:1. 在污染區尚未完全清理乾淨前,限制人員接近該區。

2. 確定清理工作是由受過訓練的人員負責。

3. 穿戴適當的個人防護裝備。

環境注意事項:1. 對該區域進行通風換氣。

2. 撲滅所有發貨源。

3. 報告政府安全衛生與環保相關單位。

清理方法:迅速撤離泄漏污染區人員至安全區,並進行隔離,嚴格限制出入。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器,穿防酸鹼工作服。不要直接接觸泄漏物。儘可能切斷泄漏源。防止流入下水道、排洪溝等限制性空間。

小量泄漏:用砂土混合。也可以用大量水沖洗,洗水稀釋後放入廢水系統。

大量泄漏:構築圍堤或挖坑收容。用泵轉移至槽車或專用收集器內,回收或運至廢物處理場所處置。

安全處置方法

處置:密閉操作,加強通風。操作人員必須經過專門培訓,嚴格遵守操作規程。戴化學安全防護眼鏡,戴橡膠手套。避免與鹼類接觸。搬運時要輕裝輕卸,防止包裝及容器損壞。配備泄漏應急處理設備。倒空的容器可能殘留有害物。稀釋或製備溶液時,應把鹼加入水中,避免沸騰和飛濺。

儲存:儲存於陰涼、通風的庫房。遠離火種、熱源。應與酸類等分開存放,切忌混儲。儲區應備有合適的材料收容泄漏物。

暴露預防措施

工程控制:密封儲藏或使用此產品一定要配有洗眼裝置及安全的淋浴,使用通風裝置將空氣中的深度降低。

個人防護設備:

呼吸防護:空氣中濃度超標時,必須佩戴自吸過濾式防毒面具(全面罩)。緊急事態搶救或撤離時,應該佩戴空氣呼吸器。

手防護:戴橡膠手套。

眼睛防護:飛濺防護罩或塵土防護安全護目鏡及面具,防止接觸此物品。

身體防護:穿橡膠耐酸鹼服。

衛生防護的具體說明:1. 工作後迅速脫掉污染衣物,洗淨後才可再穿戴或丟棄,且須告知洗衣人員污染的危害性。

2. 工作場所嚴禁抽菸或飲食。

3. 處理此物後,須徹底洗手。

4. 維持作業場所清潔。

毒理學資料

國內暫無;關於此產品的誘變性還未報導;關於此產品的致癌性還未報導;關於此產品的生殖的危害還未報導;

生態學資料

該物質對環境可能有危害,對水體應給予特別注意;

廢棄處置方法

廢棄物性質:危險廢棄物;

廢棄處置方法:用安全掩埋法處置。在能利用的地方重複使用容器或在規定場所掩埋。

廢棄注意事項:本產品衍生的廢棄物的管理及排放標準須遵守法規的規定,廢棄處置方法需遵守所有環保法規的規定。

運輸信息

危險貨物編號:82019

UN編號:1835

包裝標誌:腐蝕性物質

包裝類別:N/A

包裝方法:玻璃瓶或塑膠桶(罐)外普通木箱或半花格木箱;螺紋口玻璃瓶、鐵蓋壓口玻璃瓶、塑膠瓶或金屬桶(罐)外普通木箱;螺紋口玻璃瓶、塑膠瓶或鍍錫薄鋼板桶(罐)外滿底板花格箱、纖維板箱或膠合板箱。

運輸注意事項:鐵路運輸時應嚴格按照鐵道部《危險貨物運輸規則》中的危險貨物配裝表進行配裝。起運時包裝要完整,裝載應穩妥。運輸過程中要確保容器不泄漏、不倒塌、不墜落、不損壞。嚴禁與氧化劑、酸類、食用化學品等混裝混運。運輸時運輸車輛應配備泄漏應急處理設備。運輸途中應防曝曬、雨淋,防高溫。公路運輸時要按規定路線行駛,勿在居民區和人口稠密區停留。

法規信息

1. 化學危險物品安全管理條例(2002年1月26日國務院發布),

2. 化學危險物品安全管理條例實施細則(化勞發[1992] 677號),

3. 工作場所安全使用化學品規定([1996]勞部發423號)等法規,針對化學危險品的安全使用、生產、儲存、運輸、裝卸等方面均作了相應規定;

4. 化學品分類和危險性公示通則(GB 13690-2009)將該物質劃為第2.2 類皮膚腐蝕/刺激。

其他

案例分析

1996年2月中旬,台灣南部某電子化學品製造廠員工在排除25%四甲基氫氧化銨溶液(tetramethylammoniumhydroxide,簡稱TMAH)輸送系統的故障時,輸送管線的由令(union)突然爆裂造成兩名勞工身體多處被TMAH溶液噴濺,兩名勞工立即使用大量清水緊急沖淋,經過二十分鐘左右後,兩名勞工即呈現昏迷現象,廠方人員即刻對兩員施以心肺復甦術(CPR),並且送醫急救,經醫院搶救無效,兩名員工當日逝世於某醫學院燒燙傷緊急救護中心。

據了解當時兩名勞工遭TMAH噴濺後,送醫前已到院前死亡(Death on arrival),雖經院方搶救後恢復心跳及血壓,但仍不幸陸續於當日不治。經醫師檢視當時兩人傷勢僅頭、頸部各約百分之五至七的二至三度化學性灼傷,受傷面積不大,然卻在短時間內不治身亡。

TMAH國內使用背景

近年來, TMAH大量地使用在半導體與光電等電子高科技產業中,其主要用途是在黃光製程中當作顯影劑(Developer)使用,而以往其危害認知上,僅當成強鹼性與腐蝕性化學物質處置,故其物質安全資料表各廠商可謂莫衷一是。

TMAH性質

綜合各家廠商提供的物質安全資料表及相關研究報告記載此物質為一無色至微黃液體、具有類似胺類(amine)氣味;極易溶於水中;比重為1.02g/cm3(20℃);沸點為102-110℃(依濃度變化,1atm);蒸氣壓為17.5-18mmHg(20℃);蒸氣密度為3.4 (air=1);pH值大於13;閃點80℃;爆炸極限16%~25%;(閃點及爆炸極限部分MSDS未列出);

健康危害分析:TMAH主要的健康危害分成兩部份,第一部份是OHˉ基,其特性為強鹼與腐蝕性,健康危害效應為造成皮膚及黏膜組織灼傷;第二部份是TMA+基,其特性為類似毒螺類神經毒素,健康危害效應為抑制呼吸肌肉群,造成呼吸肌肉停止,心跳減緩,嚴重者導致腦部缺氧死亡。故吸入、食入或皮膚大面積與TMAH接觸時,在15-30分鐘內產生急性中毒,甚至呼吸停止死亡;人類口服可能致死劑量:25%TMAH0.8-4cc,2.38% TMAH8.4-42cc。

急救措施

如與皮膚接觸時,立即以大量清水持續沖洗接觸面20分鐘以上並同時脫去受污染衣物,且立即送醫急救,在過程中尤應小心防護避免二次污染;

如遇眼鏡接觸時,立即提起眼瞼,用流動清水或生理鹽水沖洗至少15分鐘,立刻就醫;

如不慎吸入時,迅速脫離之空氣新鮮處,保持呼吸暢通;若患者呼吸困難時,立即供應氧氣,並就醫;

如患者停止呼吸時,立即施予人工呼吸並立即送醫急救。

如不慎食入,立即漱口,口服稀釋的醋或檸檬汁,就醫;

目前並無其解毒劑記載。

應急防護措施

由於人體接觸到TMAH有極大致死風險存在,有關TMAH現場作業人員的個人防護用品(PPE)選擇,建議從三個風險等級進行管理:

第一級防護:TMAH系統無蓄壓狀況下,人員可能有機會碰觸此物質,在此狀況個人防護具應著用C級化學防護衣、面罩、安全眼鏡、防酸鹼靴及防酸鹼手套;

第二級防護:TMAH系統有潛在蓄壓狀況下,人員極有可能被含有壓力存在的TMAH液體噴濺及吸入TMAH霧氣,故此狀況個人防護具應著用C級化學防護衣(全身式)、面罩、安全眼鏡、鹼性濾毒罐呼吸防護面罩、防酸鹼靴及防酸鹼手套;

第三級防護:緊急應變處理,系統的TMAH溶液持續大泄露或發生火災情形,此狀況個人防護具應著用B級化學防護衣、供氣式呼吸防護具(SCBA)、防酸鹼靴及防酸鹼手套;

使用管理要求

1、根據健康危害分析中描述,要求將其作為劇毒化學品進行管理,執行“五雙”管理制度,獨立空間存放,嚴格管控;

2、所有作業、維護人員均須進行培訓;

3、嚴格按照PPE的穿戴要求進行防護;

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